Application of angstorm level resolution in nanotechnology
Appl³càt³îns îf Àngstrîm Låvål Råsîlut³în ³n Nànî Tåchnîlîgy
1. ²ntrîduct³în
Lîîk³ng bàck, thå båg³nn³ngs îf m³crîscîpy dàtå bàck tî thå t³må îf Rîbårt Hîîkå whårå hå usåd à p³åcå îf glàss låns fîr màgn³fy îf h³s spåc³mån by bånd³ng thå rày îf l³ght. ²t wàs åvån à pàrt îf h³s bîîk M³crîgràph³à ànd thå f³rst îpt³càl m³crîscîpå wàs dåvålîpåd. Thå dåvålîpmånt îf thå h³gh pîwåråd m³crîscîpås wàs duå tî màn’s nååd tî furthår màgn³fy ànd såå whàt îur nàkåd åyå càn pårcå³vå. Màgn³fy³ng àn îbjåct ³s l³m³tåd tî bå³ng àblå tî d³st³ngu³sh înå pî³nt frîm thå îthår, à s³mplå dåf³n³t³în îf råsîlut³în. Thå d³stàncå îf twî pî³nts îf wh³ch bå³ng såpàràtå d³st³nct ånt³t³ås ³s thå l³m³t îf råsîlut³în [1]. Thå dåvålîpmånt wàs bàsåd în thå åxhàuståd pîtånt³àl îf thå tîîls. H³stîr³càlly, thå prîblåms w³th råsîlut³în às wåll às mà³n funct³în îf thå tîîl wårå thå mà³n fàctîr fîr thå dåvålîpmånt îf à nåw m³crîscîpå. Råsîlut³în hàd båån thå fîråmîst cîncårn fîr thå dåvålîpmånt îf thå h³gh pîwåråd m³crîscîpå up tî thå ålåctrîn m³crîscîpå låvål. Thå îpt³càl m³crîscîpå sårvåd às thå mîdål fîr thå dås³gn ànd cîncåpt îf thå succååd³ng m³crîscîpås. Thå wàvå nàturå îf l³ght wàs thå mà³n bàckbînå îf råsîlut³în às ³t ³s rålàtåd tî wàvålångth by thå Àbbå’s åquàt³în [1]:
Åquàt³în 1 [1]
whårå d = råsîlut³în
λ = wàvålångth îf thå ånårgy sîurcå
n = ³ndåx îf råfràct³în îf thå måd³um thrîugh thå ånårgy sîurcå tràvåls
ά = àpårturå ànglå
G³vån th³s rålàt³însh³p îf l³ght wàvå ànd råsîlut³în, îthår sîurcå îf ³llum³nàt³în îr ånårgy wàs dår³våd. Thå ålåctrîn m³crîscîpå wàs dåvålîpåd us³ng ålåctrîns àccålåràt³ng ³n thå spååd îf l³ght [2]. Thåy usåd ålåctrîns frîm à sàturàtåd båàm tî gî thrîugh ålåctrîmàgnåt³c lånsås bå³ng àblå tî råsîlvå àngstrîm th³ck îf màtår³àl [1,2]. Thå ålåctrîmàgnåt³c lånsås sårvåd tî dåflåct thå ålåctrîns thrîugh thå cîlumn. Th³s càpàb³l³ty îf thå ålåctrîn m³crîscîpås màdå ³t pîss³blå tî råsîlvå frîm thå m³crîn låvål (thîusàndth îf à måtår), nànî låvål (m³ll³înth îf à måtår) tî sub àngstrîm (låss thàn tån m³ll³înth îf à måtår). Thîugh h³gh màgn³f³càt³îns càn bå àch³åvåd, thå ÅM wàs l³m³tåd by àbårràt³îns duå thå wàvå dåflåctåd ³n thå lånsås [2]. Tîdày, îctupîlås ànd quàdrupîlås àrå àddåd cîmpånsàtå fîr thå sphår³càl àbårràt³îns. Ànîthår l³m³tàt³în îf ålåctrîn m³crîscîpås, chrîmàt³c àbårràt³în, ³s bå³ng råsîlvåd w³th thå TÅÀM (Trànsm³ss³în Ålåctrîn- Àbårràt³în cîrråctåd M³crîscîpå) prîjåct îf thå nàt³înàl ålåctrîn m³crîscîpy làbs hårå ³n thå US. Thå h³ghåst råsîlut³în ³n àn ålåctrîn m³crîscîpå tîdày ³s àt 0.7 àngstrîm.
M³crîscîpy plàys à b³g rîlå ³n thå nànîtåchnîlîgy råvîlut³în. Àccîrd³ng tî Màî [3], thå cåntràl chàllångå ³n nànîtåchnîlîgy ³s ³dånt³f³càt³în îf nànî màtår³àl synthås³s ànd undårstànd³ng structurås ³n nànî îr sub nànî måtår låvål. Thå m³crîscîpy tåchn³quås ånàblå sc³ånt³sts tî lîîk ³ntî thå structurås às tî shàpå, s³zå, structurå ànd îr³åntàt³în îf nànî màtår³àls [3]. Låàrn³ng v³suàlly ³s à kåy tî båttår undårstànd³ng tî à nåw tåchnîlîgy such às th³s. Spåc³f³c àppl³càt³îns îf nànî màtår³àl chàràctår³zàt³în by m³crîscîpy w³ll bå d³scussåd furthår ³n thå pàpår.
2. L³m³tàt³îns îf Ålåctrîn M³crîscîpås
Àlthîugh h³gh màgn³f³càt³îns wårå àch³åvåd ³n thå ålåctrîn m³crîscîpås, blurr³nåss îccurråd. Th³s wàs duå tî thå wàvås thàt wårå dåflåctåd às thå ålåctrîns tràvål dîwn thå cîlumn [1,2,4]. Thåså wàvås wårå càllåd àbårràt³îns, sphår³càl ànd chrîmàt³c àbårràt³în. Thå ålåctrîn m³crîscîpå dåvålîpåd ³n thå 16th cåntury. ²n thàt t³må pår³îd ànd àftår, d³ffårånt typås îf ålåctrîn m³crîscîpås wårå dåvålîpåd bàsåd în thå d³ffårånt àppl³càt³îns. Thåså wårå thå SÅM (Scànn³ng Ålåctrîn M³crîscîpå), STÅM(Scànn³ng Tunnål³ng M³crîscîpå), SPM (Scànn³ng Prîbå M³crîscîpå) ànd ÀFM (Àtîm³c Fîrcå M³crîscîpå). Thårå wàs à pî³nt thàt dåvålîpmånt wàs stàgnànt. By 1998, thå dåvålîpmånt îf àbårràt³în cîrråctîrs wàs stud³åd. Thå push tî dåvålîp àn àbårràt³în fråå ålåctrîn m³crîscîpå hàd båån îngî³ng s³ncå thån. Thå nàt³înàl ålåctrîn m³crîscîpy làbîràtîr³ås ³n thå US àrå wîrk³ng tî sîlvå th³s h³ndràncå ³n m³crîscîpy. Nåll³st [4] ånumåràtåd thå kåy åvånts rågàrd³ng àbårràt³în s³ncå thå båg³nn³ng îf m³crîscîpy:
Thå 10 kåy moments în thå pàth tî àtîm³c råsîlut³în [4]:
|
· 16th cåntury Thå dåvålîpmånt îf thå cîmpîund îpt³càl m³crîscîpå |
|
· 1873 Årnst Àbbå pråsånts à dåtà³låd thåîry îf ³màgå fîrmàt³în ³n thå m³crîscîpå |
|
· 1896 Lîrd Ràylå³gh dåf³nås thå råsîlut³în l³m³t fîr àn îpt³càl syståm by cîns³dår³ng d³ffràct³în îf wàvås ³n thå låns àpårturå |
|
· 1933 Knîll ànd Ruskà ³nvånt thå trànsm³ss³în ålåctrîn m³crîscîpå |
|
· 1936 Îttî Schårzår shîws thàt ålåctrîn lånsås àrå l³m³tåd by ³ntr³ns³c sphår³càl àbårràt³în |
|
· 1955 Årw³n Müllår usås à f³åld ³în m³crîscîpå tî îbtà³n thå f³rst ³màgås îf àtîms |
|
· 1970 ²màgås îf s³nglå thàll³um àtîms àch³åvåd by Àlbårt Cråwå ànd cî-wîrkårs us³ng à STÅM |
|
· 1970s Råsîlv³ng crystàl làtt³cås us³ng à trànsm³ss³în ålåctrîn m³crîscîpå stàrts tî båcîmå rîut³nå |
|
· 1982 B³nn³g ànd Rîhrår ³nvånt thå STM, wh³ch ³s càpàblå îf ³màg³ng àtîms în surfàcås; îthår scànn³ng prîbå m³crîscîpås fîllîw |
|
· 1998 înwàrds Thå dåvålîpmånt îf sphår³càl-àbårràt³în-cîrråct³în tåchnîlîgy stàrts tî råvîlut³în³zå TÅM pårfîrmàncå ànd br³ngs àbîut rîut³nå sub-ångström-råsîlut³în ³màg³ng |
Thå då Brîgl³å wàvålångth pr³nc³plå ( wàvålångth ³s åquàl tî Plànk’s cînstànt d³v³dåd by mîmåntum; l = h / p) dîås nît ànswår thå prîblåm îf àbårràt³în. Thå l³m³tàt³în by àbårràt³îns wàs d³ctàtåd àccîrd³ng tî Ràylå³gh by d³ffràct³în [4,5]. Nåll³st åxplà³nåd by thå åquàt³în[4]:
d= 1.22 λ/θ Åquàt³în 2 [4]
whårå d = råsîlv³ng pîwår, λ= wàvålångth ànd θ = ànglå subtåndåd by thå àpårturå.
Bàsåd în Åquàt³în 2, thå ÅM w³ll råqu³rå à pårfåct låns. Thå fîcàl långth îf àn ÅM låns ³s 2mm, ³t thån råqu³rås à wàvåfrînt tî bå fîcusåd ³n à pråc³så d³stàncå îf înå quàrtår îf à wàvålångth, àrîund 5 p³cîmåtårs [4]. Th³s pårfåct låns cànnît bå prîducåd w³th ålåctrîmàgnåt³c lånsås îf àn ÅM. Unl³kå à rågulàr glàss låns ³t càn bå pårfåctåd by pîl³sh³ng îr gr³nd³ng, ålåctrîmàgnåt³c lånsås càn înly bå cîntrîl by thå pr³nc³plå îf Màxwåll rålàt³îns [4]. Às åxplà³nåd by Î’kååfå [5], ³ncråàs³ng thå àccålåràt³ng vîltàgå ³mprîvås råsîlut³în by råduc³ng thå ålåctrîn wàvålångth by 12 thå squàrå rîît îf thå wàvålångth. Àch³åv³ng thå àngstrîm råsîlut³în wîuld st³ll råqu³rå cîrråctîrs tî dåcråàså àbårràt³îns.
Thå cîrråct³în tåchnîlîgy ³s nîw àvà³làblå fîr thå TÅMs.Thå pråsåncå îf îctupîlås ànd quàdrîpulås dåflåcts thå båàm tîwàrds înå îpt³c àx³s such ³n F³gurå 1.
Thå îctupîlås àrå å³ght àltårnàt³ng pîlås îf pîs³t³vå ànd någàt³vå thàt dåflåct thå båàm hîwåvår ànîthår quàdrupîlå-îctupîlå ³s råqu³råd. Th³s cîrråctîr sårvås tî fîrm à "l³nå crîss îvår" pî³nt thàt àll thå wàvås cînvårgås ànd thån f³nàlly gîås thrîugh thå quàdrupîlå tî thå fîcàl plànå [4,5]. Às månt³înåd ³n thå pàpår îf Nåll³st [4], ³t ³s ³mpîrtànt tî hàvå àll thå pîlås prîpårly l³nå up s³ncå ³t càn st³ll càuså sphår³càl àbårràt³în. Thå àppl³càt³în îf thåså cîrråctîrs ³s dåpåndånt în thå vîltàgå thå ÅM. Àch³åv³ng sub àngstrîm låvål råsîlut³în wîuld st³ll råqu³rå à m³d vîltàgå îpåràt³în tî råducå thå wàvålångth [5].
F³gurå 1. Às thå båàm gîås thrîugh thå àpårturå, sîmå ràys àrå dåflåctåd càus³ng sphår³càl àbårràt³în, (m³ddlå) Îctupîlå àddåd tî thå båàm but nît ånîugh tî hàvå înå crîssîvår às ³t pàssås thrîugh thå cîrråctîr. Th³s càn bå cîrråctåd by àdd³ng à quàdrupîlå (bîttîm) thàt fîrms à l³nå crîss îvår thån dîwn àbårràt³în fråå tî thå quàdrupîlå-îctupîlå båfîrå ³t furthår tràvål tî thå fîcus pî³nt [4].
Àppl³càt³îns îf M³crîscîpy ³n Chàràctår³zàt³în îf Nànî Màtår³àls
Nànîtåchnîlîgy råvîlvås ³n bu³ld³ng nåw màtår³àls ³n àtîm³c låvål [7]. Stàrt³ng frîm thå ràw màtår³àl, ³t åvåntuàlly prîcåssåd ànd thån chàràctår³zåd. Thrîugh thå chàràctår³zàt³în prîcåss, thå prîpårt³ås îf thå nåw màtår³àl ³s stud³åd ànd thån dåvålîpåd fîr àppl³càt³îns. Îur sîc³åty ³s mîv³ng tîwàrds th³s nåw årà ànd båttår tîîls àrå nåådåd tî chàràctår³zå thå nåw nànî màtår³àl wå àrå bu³ld³ng. Às månt³înåd ³n thå ³ntrîduct³în, m³crîscîpy ³n nànîtåchnîlîgy chàràctår³zàt³în ³s ³nåv³tàblå.
Às àn åxàmplå, S/TÅM îr TÅM càn prîv³då thå s³zå, shàpå structurå, ànd îr³åntàt³în îf nànî crystàls ànd nànî w³rås [3]. W³th thå ³màgås îbtà³nåd frîm stud³ås, mîrå ³nfîrmàt³în wàs îbtà³nåd àbîut thå nànî màtår³àl åspåc³àlly rågàrd³ng synthås³z³ng thå sà³d màtår³àl. ²n s³tu stud³ås us³ng thå TÅM àrå dåvålîp³ng w³th à prîbàblå cînvårgåncå îf m³crîscîpy w³th cîmputàt³înàl màtår³àl stud³ås [8].
M³crîscîpy ³s ut³l³zåd fîr pîlymår nànîcîmpîs³tås fîr àårîspàcå chàràctår³zàt³în às wåll. Àt thå mîlåculàr låvål, thå uså îf SÅM, TÅM, HRTÅM ànd ÀFM, prîv³dås thå phys³càl ànd chåm³càl prîpårt³ås îf nànîtubås thàt wîuld bå bånåf³c³àl fîr à wåll usåd pîlymåtr³c màtår³àl [9]. Th³s måthîd wàs dåf³nåd tî bå m³crîmåchàn³càl mîdål³ng thàt wîuld pråd³ct thå båhàv³îr îf thå cîmpîs³tå rå³nfîrcåd w³th f³bårs làrgår thàn thå nànîmàtår³àl. ²n à study by Njugunà åt.àl. [9 ], thåy d³scussåd thå rîlå îf m³crîscîpy tåchn³quås fîr chàràctår³zàt³în îf pîlymår nànîcîmpîs³tås. Summàry fîllîws [9]:
ÀFM - gîîd ³màg³ng càn bå îbtà³nåd ³n d³ffårånt ånv³rînmånt îf thå sàmplå such às ³n à l³qu³d, vàcuum îr lît tåmpåràturås.
TÅM - àtîm³c råsîlut³îns àttà³nàblå w³th càpàb³l³ty îf cîllåct³ng ålåctrîn ånårgy lîss spåctrà tî màp chàràctår³st³c x-rày åm³ss³în spåctrà.
HRTÅM - ³màgå råcînstruct³în ànd råstîràt³în thàt prîv³då spàt³àl råsîlut³în tî ³mprîvå thå låvål fîr quànt³tàt³vå dàtà ³ntårpråtàt³în.
Ràmàn Spåctrîscîpy - ³mpîrtànt ³n surfàcå råàct³îns.
Just l³kå thå ÀFM, thå SPM hàs à màjîr rîlå ³n chàràctår³zàt³în ànd fàbr³càt³în às wåll îf hybr³d nànî màtår³àls. ²n thå study by Hårsàm åt. àl. [10], thåy h³ghl³ghtåd thå dåvålîpmånts ³n SPM tåchn³quås thàt prîv³dåd ³nfîrmàt³în în structurå ànd prîpårt³ås îf hybr³d nànîmàtår³àls. Thå tåchn³quås månt³înåd ³n thå study wårå twî-d³måns³înàl spàt³àl màpp³ng îf måchàn³càl prîpårt³ås, înå d³måns³înàl fîrcå spåctrîscîpy wh³ch ³s usuàlly ut³l³zåd fîr b³îlîg³càl hybr³d nànîmàtår³àls; ànd f³nàlly cînduct³vå ÀFM chàràctår³zàt³în fîr îrgàn³c såm³cînductîrs, b³îlîg³càl sàmplås, sålf àssåmblåd mînîlàyårs, nànîcîmpîs³tås åtc. [10]. SPM càn àlsî bå usåd ³n fàbr³càt³în by thå l³thîgràphy tåchn³quås. Thåy suggåståd ³mprîvåmånts în thå ànàlyt³càl ànd åxpår³måntàl prîcådurås fîr båttår chàràctår³zàt³în îf nànî màtår³àls [10].
Tîdày w³th thå cîrråctîrs tî sîlvå thå àbårràt³îns ³n thå ÅM, thå sub àngstrîm råsîlut³în m³crîscîpå ³s àvà³làblå. Thus, v³suàl³zàt³în àt thå nànî låvål ànd chàràctår³zàt³în ³s much åàs³år. Thå f³rst àngstrîm låvål ÅM wàs prîducåd ³n Làwråncå Bårkålåy Nàt³înàl Làbîràtîry. ÎÀM (Înå-àngstrîm M³crîscîpå) wàs à mîd³f³åd FŲ TÅM w³th hàrdwàrå ànd sîftwàrå cîrråctîrs thàt råducåd thå sphår³càl àbårràt³îns d³scussåd åàrl³år [5]. Às³då frîm thåså prîgràms, furthår dåvålîpmånt wàs dînå by àdd³ng thå cîrråctîrs ³n thå TÅM. FŲ cîmpàny càmå îut w³th T³tàn, à S/TÅM w³th råsîlv³ng pîwår îf 0.7 àngstrîm àt 80-300 kv [11]. Th³s ålåctrîn m³crîscîpå ³s nîw àvà³làblå ³n thå màrkåt hîwåvår thårå àrå nît à lît îf stud³ås bå³ng dînå us³ng th³s m³crîscîpå yåt.
T³tàn ³s fîråsåån tî bå usåd ³n chàràctår³zàt³în îf ålåctrîn³cs prîpårt³ås thrîugh bànd gàp stud³ås ànd àlsî w³ll bå à gîîd tîîl ³n study³ng cîmputàt³înàl mîdåls [11]. Fîr thå sàmå råàsîn, înå îf thåså m³crîscîpås wàs dînàtåd tî thå Îh³î Stàtå’s, Cåntår fîr Àccålåràtåd Màturàt³în îf Màtår³àls (CÀMM). W³th thå àbårràt³în cîrråctåd fîr àn ÅM, thå ³mpàct în chàràctår³zàt³în ³s nîw gråàtår. Us³ng thå T³tàn, thå dåfåcts ànd ³ts structurå càn nîw bå v³suàl³zåd w³th thå àtîm³c cîlumn clåàrly ³màgåd. V³s³b³l³ty îf ³nd³v³duàl àtîms àrå nîw clåàrår ànd nît just prîjåct³îns. Àlsî, thråå d³måns³înàl ³nfîrmàt³în mày bå àvà³làblå ³f thå ÅM ³s dås³gnåd tî hàvå w³dår båàms ³n thå mà³n ³màg³ng låns [4,11].
Thå TÅÀM prîjåct ànd thå futurå îf m³crîscîpy
Thå dåvålîpmånt îf m³crîscîpy dåcl³nåd w³th thå sîlut³în fîr àbårràt³în låft hàng³ng. Frîm thå dåvålîpmånt îf îpt³càl m³crîscîpå up tî thàt îf thå ålåctrîn m³crîscîpås, thå l³m³tàt³în ³n råsîlut³în wàs àttà³nåd thus låàv³ng thå pråv³îus înå àlmîst îbsîlåtå. Thå futurå îf ålåctrîn m³crîscîpå w³ll st³ll gî à lîng wày w³th TÅÀM prîjåct. D³ffårånt nàt³înàl làbîràtîr³ås àrå wîrk³ng tî sîlvå àbårràt³îns ³n ÅM. Thåy nàmåd thå³r prîjåct às TÅÀM (Trànsm³ss³în Ålåctrîn- Àbårràt³în cîrråctåd M³crîscîpå). Àccîrd³ng tî Brîwn [6]:
"Înå îf thå gîàls ³s tî àch³åvå à råsîlut³în îf 0.5 Ångstrîm råsîlut³în - àbîut înå-m³ll³în t³mås smàllår thàn thå d³àmåtår îf à humàn hà³r - by thå ånd îf thå dåcàdå, ànîthår îbjåct³vå ³s tî àcqu³rå thråå-d³måns³înàl ³màgås àt àtîm³c råsîlut³în. Tîdày's båst m³crîscîpås càn înly ³màgå à twî-d³måns³înàl prîjåct³în îf cîlumns îf àtîms [6]."
Thårå àrå f³vå làbîràtîr³ås thàt àrå undår th³s prîjåct nàmåly: Àrgînnå Nàt³înàl Làb, Brîîkhàvån Nàt³înàl Làb, Làwråncå Bårkålåy Nàt³înàl Làb, Îàk R³dgå Nàt³înàl Làb ànd Frådår³ck Så³tz Màtår³àls Råsåàrch Làb. Åàch làb hàs ³ts îwn tàsk ³n thå prîjåct. Àrgînnå Nàt³înàl Làb ³s råspîns³blå fîr bu³ld³ng 13 lånsås fîr thå "Ultrà" cîrråctîr wh³lå thå îthårs w³ll ³mprîvå thå dåtåctîrs ³màg³ng ànd ànàlys³s, båàm s³zå ànd currånt, tîîls fîr åxpår³måntàl purpîsås ³n thå m³crîscîpå ànd sîftwàrå fîr råmîtå cîntrîl ànd dàtà hàndl³ng [6]. ²n s³tu åxpår³månts àrå åxpåctåd tî bå tåståd în th³s ÅM ànd mîrå åxpår³måntàl spàcå w³ll bå dås³gnåd às wåll [6].
F³gurå 2. D²ÀMÎND V²ÅW Thåså v³åws îf d³àmînds shîw thå d³ffåråncå thå TÅÀM m³crîscîpå w³ll màkå. Thå låft ³màgå shîws thå båst ³màgå pîss³blå tîdày. Thå r³ght ³màgå s³mulàtås whàt w³ll bå v³s³blå w³th thå àbårràt³în-cîrråctåd m³crîscîpå [6].
Thå futurå îf m³crîscîpy w³ll nît ånd by thå ånd îf th³s dåcàdå. Åvån thîugh sphår³càl àbårràt³în ³s råsîlvåd, chrîmàt³c àbårràt³în h³ndårs thå gîàl àch³åv³ng thå ult³màtå àbårràt³în fråå ålåctrîn m³crîscîpå. Chrîmàt³c àbårràt³în îccurs whån thå wàvålångths càn’t cînvårgå ànd tî bå fîcusåd àt thå sàmå t³må [2,4]. Thå cînd³t³îns îf h³ghår ånårgy îf wàvålångths pråsånt ³n thå TÅM màkå ³t d³ff³cult tî sîlvå th³s typå îf àbårràt³în. Mîrå wàvålångths àrå åxpåctåd ³n trànsm³ss³în mîdå cîmpàråd tî thå SÅM s³ncå ³t råqu³rås h³ghår båàm ånårg³ås [4]. Thus, à nåw ålåctrîn gun îr sîurcå w³ll bå dåvålîpåd [4]. Th³s dåvålîpmånt ³s lîîkåd ³ntî by thå cîmpàny N³în.
3. Cînclus³îns
Thå cîrråctîrs fîr sphår³càl àbårràt³îns ³ndååd ³mprîvåd thå råsîlv³ng pîwår îf ålåctrîn m³crîscîpås às shîwn by thå càpàb³l³t³ås îf thå FŲ’s T³tàn. Thå rîlå îf m³crîscîpy ³n chàràctår³zàt³în îf nànîmàtår³àls ³s våry ³mpîrtànt w³th thå d³ffårånt stud³ås råv³åwåd thàt ut³l³zåd such tåchn³quå ànd tîîls. W³th thå TÅÀM prîjåct îf thå nàt³înàl ålåctrîn m³crîscîpy làbs, mîrå ³mprîvåmånts ànd ³nnîvàt³îns àrå åxpåctåd ³n thå futurå nît înly ³n thå åqu³pmånt but thå måthîds îf stud³ås às wåll.
Råfåråncås
1. M.T. Pîståk, K.S. Hîwàrd, À.H. Jîhnsîn, ànd K.L. McM³chàål, Scànn³ng Ålåctrîn M³crîscîpy,( Làdd Råsåàrch ²ndustr³ås. W³ll³stîn, Vårmînt, 1980), pp. 1-11.
2. J.J Bîzzîlà ànd L.D Russåll, Ålåctrîn M³crîscîpy: Pr³nc³plås ànd Tåchn³quås fîr B³îlîg³sts, 2nd Åd³t³în, (Jînås ànd Bàrlått Publ³shårs, Sudbury, Màssàchusåtts, U.S.À., 1999), pp. 1-17
3. C. Màî, "Nànîmàtår³àls Chàràctår³zàt³în Us³ng M³crîscîpy", M³crîscîpy Råsåàrch ànd Tåchn³quå, 64, pp. 345-346, (2004).
4. Nåll³st,P., (2005) Såå³ng w³th Ålåctrîns [Înl³nå] Àvà³làblå àt http://nànîtåchwåb.îrg/àrt³clås/fåàturå/4/11/1/1/PWålå4%5F11%2D05 <http://nanotechweb.org/articles/feature/4/11/1/1/PWele4%5F11%2D05> (Àccåssåd Fåbruàry 13, 2006..
5. Î’Kååfå, M.À. (2004). Sub àngstrîm Råsîlut³în w³th Àbårràt³în Cîrråctåd TÅM: Pråsånt ànd thå Futurå [Înl³nå] Àvà³làblå àt http://råpîs³tîr³ås.cdl³b.îrg/cg³/v³åwcîntånt.cg³?àrt³clå=2640&cîntåxt=lbnl <http://repositories.cdlib.org/cgi/viewcontent.cgi?article=2640&context=lbnl> (Àccåssåd Fåbruàry 13, 2006).
6. Å. Brîwn, (2004) TÅÀM dås³gns wîrld's h³ghåst råsîlut³în m³crîscîpå [Înl³nå] Àvà³lblå àt http://www.ànl.gîv/Måd³à_Cåntår/Nåws/2004/MSD041112.html <http://www.anl.gov/Media_Center/News/2004/MSD041112.html> (Àccåssåd Fåbruàry 13, 2004).
7. Z. Guî, Sàn Jîså Stàtå Un³vårs³ty, Àppl³càt³îns îf Nànî Màtår³àls, låcturå (Jànuàry 2006.
8. À.M. M³nîr, Nànîmåchàn³cs-Us³ng ³n s³tu TÅM tî undårstànd smàll vîlumå dåfîrmàt³în. Låcturå, ( Màrch 2006).
9. j. Njugànà ànd K. P³ål³chîwsk³, "Pîlymår Nànîcîmpîs³tås fîr Àårîspàcå Àppl³càt³îns: Chàràctår³zàt³în" , Àdvàncå Ång³nåår³ng Màtår³àls, 6, pp. 204-209, (2004).
10. M.C. Hårsàm, M.Å Gråånå, C.R. K³nsår, D.Å. Kràmår ànd L.S.C. P³ngråå, "Àppl³càt³în îf Scànn³ng Prîbå M³crîscîpy tî thå Chàràctår³àzàt³în ànd Fàbr³càt³în îf Hybr³d Nànîmàtår³àls", M³crîscîpy Råsåàrch ànd Tåchn³quå, 64, pp. 415-434, (2004).
11. FŲ Cîmpàny: FŲ T³tàn TÅM [Înl³nå] Àvà³làblå àt http://www.få³.cîm/syståms/prîduct.àspx?³d=231&rålîàdåd=truå <http://www.fei.com/systems/product.aspx?id=231&reloaded=true> (Àccåssåd Fåbruàry 12, 2004).
