Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

Исходя из реальных требований к лабораторной установке по остаточному давлению газов, реальных температурных условий эксплуатации, вышеперечисленных требований к вакуумным уплотнителям и экономической целесообразности, нами выбрано два типа резины, подходящих для изготовления мембраны устройства передачи движения в вакуумную систему, физико-механические свойства которых приведены в табл. 4. Однако с учетом требований по химической стойкости окончательный выбор сделан в пользу хотя и более дорогой, но более химически стойкой резины марки 9024.

[ 2.стр.304 ]








 

 

 

 

Рисунок 13.  Передача вращательного движения заслонки.


2.3.2. Конструкция механизма поворота заслонки

Выбор механизма ввода движения в вакуумную камеру, сделанный в предыдущем параграфе, во многом предопределяет конструкцию всего механизма поворота заслонки. При его разработке использованы стандартные технические решения, что, с учетом отсутствия значительных нагрузок на подвижные (вращающиеся) детали конструкции, позволило отказаться от расчетов прочности валов. Выборы размеров диктовались реальными габаритными данными вакуумной камеры модернизируемого устройства, характер механической обработки деталей - общими машиностроительными требованиями.

Эскиз механизма поворота представлен на рис.14. Процесс изготовления валика  приведен в технологической части 3,  таблице 6.


Таблица 2. Характеристики устройства ввода движения


Наименование ввода движения

Диапазон рабочих давлений,      

     Па

Максималь-ная темпера-тура прогрева,

       К

Вид уплотни-теля

Частота  враще-ния, об/мин

Макси-мальный пере-даваемый момент,         

     Н.м

Ввод вращения с промежуточным звеном,совершаю-щим лоскопарал-лельное движение

 

10-3- 10-5

 

350 -450*

Резино-вая мембра-на

 

до 100

 

3


* В зависимости от марки вакуумной резины, из которой изготовлена мембрана.

Таблица 3. Физико-механические свойства вакуумной резины марок   

                     7889 (1) и 9024(2)



Миним. рабочая темп-ра в вакууме,К

Максим.

рабочая темп-ра в вакууме, К


Хими-ческая стой-кость

Удельн. поток газовыдел. при максим. рабочей темп-ре,

м3 Па/(м2с)

Характе-ристика продук-тов газовы-деления

Прони-цаемость при давлении

105Па/(м2с)

по азоту

 

1

 

243

 

350


Нестой-кая

 

5,3•10-5

твердые, жидкие, газообраз-ные

 

2,3•10-7

 

2

 

240

 

360

Масло-стойкая

 

2,7•10-5

 

-“-

 

2,5•10-8




         

 

Рис. 14     Эскиз поворотного валика

                                      3.ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ


Технология изготовления печатной платы и поворотного валика представлены в таблицах 2 и 3














Рис.  15      Печатная плата управляющего устройств


Таблица  4 Технология изготовления печатной платы

 

            Режим

№ опера-ции

Наименование операции

Оборудование,

инструмент,

приспособления

Фото-материал

Концен-трация или количе-ство

 

темпера-тура,

 оС

 

время,

мин

 

 

 

1.


Проверить качество поверхности и прочность сцепления фольгированного диэлектрика в соответ-ствии с требованиями  МРТУ


Инструмент оговаривается МРТУ





 

 

2.


Штамповать или нарезать заготовки плат с учетом технологического припуска


Пресс эксентриковый вырубной или ножницы, угольник, линейка





 

3.


Снять заусениц по периметру заготовки



Установка для снятия заусениц или напильник личной






 

4.


Сверлить фиксирую-щие отверстия (в слу-чае технологической

необходимости)



Сверлильный станок, кондуктор, сверло спиральное





 

5.


Снять заусеницы в фиксирующих отверстиях


Развертка, надфиль





 

6.


Очистить поверхность заготовки, предварительно смочив ее водо


Полировальная машина или вруч-ную


Шлифпоро-шок № 5, венская известь




7.


Промыть проточной водой (холодной)



Ванна с душевым устройством



20  5

0,5-1,0

8.

Декапировать

Ванна


Кислоты соляная или серная


 

50-100 г/л


 

10-15 сек

9.


Промыть проточной холодной  водой



Ванна с душевым устройством



20± 5

0,5-1,0

 

10.

На фольгированную поверхность заготовки

нанести слой эмульсии

Ванна


Поливини-ловый спирт

Аммоний двухромо-вокислый

ОП-10

(ОП-7)

5%-ный раствор спирта

 

70-90 г/л

 

10-15 г/л

 

 

5 мг/л

 

Страницы: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11



Реклама
В соцсетях
рефераты скачать рефераты скачать рефераты скачать рефераты скачать рефераты скачать рефераты скачать рефераты скачать