0,28
0,2
6,13 1017
0,085
2
1,54 1017
0,21
0,4
8,15 1017
0,071
3
2,04 1017
0,18
0,6
1,22 1018
0,06
4
2,54 1017
0,15
0,8
2,41 1018
0,032
5
3,03 1017
0,14
0,9
4,77 1018
0,02
6
3,51 1017
0,13
0,99
4,63 1019
0,0028
7
3,98 1017
0,11
–
–
–
8
4,45 1017
0,1
–
–
–
9
4,92 1017
0,098
–
–
–
Vкр=8,33×10-3 см/с
0
1,6 1017
0,2
0
1,35 1018
0,05
1
3,2 1017
0,135
0,2
1,67 1018
0,048
2
4,68 1017
0,098
0,4
2,2 1018
0,036
3
6,11 1017
0,085
0,6
3,25 1018
0,028
4
7,48 1017
0,075
0,8
6,32 1018
0,017
6
1,0 1018
0,061
0,9
1,23 1019
0,009
7
1,13 1018
0,055
0,99
1,12 1020
0,0011
8
1,24 1018
0,051
–
–
–
9
1,35 1018
0,05
–
–
–
Vкр=2,5×10-2 см/с
0
2,2 1018
0,036
0
4,02 1018
0,0215
1
2,97 1018
0,029
0,2
4,45 1018
0,021
2
3,41 1018
0,025
0,4
5,07 1018
0,019
3
3,67 1018
0,023
0,6
6,1 1018
0,017
4
3,82 1018
0,0225
0,8
8,36 1018
0,0125
6
3,96 1018
0,0222
0,9
1,15 1019
0,01
7
3,98 1018
0,022
0,99
3,27 1019
0,0037
8
4,01 1018
0,0215
–
–
–
9
4,02 1018
0,0215
–
–
–
|
|
1.2.2 Расчет распределения Si-P.
Расчет распределения фосфора в кремнии будем производить аналогично расчету галлия в слитке кремния (пункт 1.2.1), при тех же условиях зонной плавки.
Переведем N0 в см-3. Атомная масса фосфора = 30,97
N0=0,02 % (массовых) = 1,81×10-2 % (атомных) = 9,05×1018 см-3.
Для расчета эффективного коэффициента сегрегации kэфф воспользуемся выражением (4). Для фосфора в кремнии k0=3,5×10-1 [1]. Отношение d/Dж=200 с/см из задания.
Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для трех скоростей кристаллизации Vкр=2,5×10-3; 8,33×10-3; 2,5×10-2 см/с соответственно получим kэфф=0,47; 0,74; 0,99.
Заполним расчетную таблицу.
Таблица 2 - Распределение фосфора и удельного сопротивления вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной).
Участок зонной
плавки
Участок направленной
кристаллизации
а
Nтв,
